2月2日,，湖南凱美特氣體股份有限公司 （以下簡稱“凱美特氣”）發(fā)布公告稱,，公司控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司（以下簡稱“岳陽凱美特”）光刻氣產(chǎn)品獲得ASML子公司Cymer公司合格供應(yīng)商認證。

根據(jù)公告,，岳陽凱美特生產(chǎn)于2月2日收到Cymer公司發(fā)來的合格供應(yīng)商認證函,，岳陽凱美特生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過了Cymer公司審查，Cymer公司已將凱美特電子特種氣體公司光刻氣產(chǎn)品列入合格供應(yīng)商名單,。

資料顯示,，ASML子公司Cymer是世界領(lǐng)先的準分子激光源提供商，是深紫外技術(shù)的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者,，是ASML集團內(nèi)一家獨立運營的企業(yè),。

Cymer公司發(fā)明了如今半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的光刻技術(shù)所需的深紫外（DUV）光源，開發(fā),、制造和服務(wù)深紫外（DUV）光源,。

產(chǎn)品組合包括使用氟化氬（ArF）或氟化氪（KrF）氣體產(chǎn)生深紫外光的準分子激光器。

凱美特氣表示,，公司光刻氣產(chǎn)品通過Cymer公司的合格供應(yīng)商認證,，是Cymer公司對公司在光刻氣生產(chǎn)領(lǐng)域的生產(chǎn)能力,、產(chǎn)品質(zhì)量的認可，也是公司先進的產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù),、鋼瓶內(nèi)壁處理技術(shù),、氣體分析技術(shù)等各方面綜合實力、競爭優(yōu)勢的體現(xiàn),。

國產(chǎn)化浪潮下,，國內(nèi)廠商遇良機……

電子氣體是現(xiàn)代工業(yè)之基石,，被譽為晶圓制造之“血液”，下游廣泛應(yīng)用于集成電路,、面板,、醫(yī)療、光纖等新興行業(yè)和冶金,、化工等傳統(tǒng)行業(yè),。

電子特氣在半導(dǎo)體晶圓制造應(yīng)用中占比約70%，其次是面板顯示市場占比約20%,。

除此之外,，電子特氣還廣泛應(yīng)用于LED,、太陽能電池、醫(yī)療健康等領(lǐng)域,。

在集成電路等高端領(lǐng)域，電子氣體被液化空氣集團,、林德集團,、大陽日酸、日本昭和電工等國外氣體公司壟斷,，國內(nèi)廠商市場份額較小,。

然而，近年來,，隨著全球晶圓廠的加速擴建以及產(chǎn)能的逐步釋放,，下游市場對電子特種氣體的需求廣闊,。

另外，隨著中國半導(dǎo)體制造的崛起,，也加速推動了半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化進程。

有數(shù)據(jù)顯示,，2017-2021年,，中國特種氣體市場規(guī)模從175億元增至342億元，年復(fù)合增速達18%,，預(yù)計到2026年中國特種氣體行業(yè)的市場規(guī)模將達到808億元,，2021-2026年復(fù)合增長率為18.76%。

據(jù)悉,，凱美特氣并否國內(nèi)首家獲得ASML認證的電子特氣廠商，在此之前,，國內(nèi)另一家電子特氣上市公司華特氣體自主研發(fā)的Ar/F/Ne,、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4種混合氣已于2017年得到ASML的認證,。

此外,，國內(nèi)上市公司杭氧股份,、金宏氣體,、 南大光電等也均在逐鹿高端電子特氣領(lǐng)域,。

文章出處：半導(dǎo)體行業(yè)觀察